光电产品制造过程中VOCs的排放

今天小编继续为您介绍在光电产品制造行业中，产生废气污染的主要有五类产品的制造过程:半导体集成电路、TFT-LCD、LED、印制电路板(PCB)、电子终端产品。这几个也是我们废气处理经常面对的。

①半导体集成电路制造过程中VOCs的排放半导体制造工艺中VOCs主要来源于光刻、显影工序，在这些工序中要用有机溶液(如异丙醇)对晶片表面进行清洗，其挥发产生的废气是有机废气的来源之一。同时，在光刻过程中使用的光阻剂(光刻胶)中含尽有易挥发的有机溶剂，如乙酸丁酯等，在晶片处理过程中产生的有机废气也要挥发到大术气中。
   ②TFT-LCD制造过程中VOCs的排放包括检査和测试在内，TFT-LCD的制造生产制工艺可达到100多道工序，生产过程中使用多种化学有机溶剂和特殊气体，产生的VOCc多量大，组分复杂。TFT液晶面板生产排放VOCs污染物的工序主要集中在阵列工程和彩膜时工程两大部分。阵列工程中的光刻(涂胶、曝光和显影)，以及彩膜工程中的黑色矩BM膜制造、彩色矩阵膜形成(红、绿、蓝，RGB)、保护膜生成、MVA膜、PS( Photo Spacer)膜生成是产生VOCs的主要产生少量VOCs。TFT-LCD的制造过程中产生的VOCs主要是以异丙醇为主，其次依序是丙酮、单甲基醚丙二醇、单甲基醚丙二醇乙酸酯，这四种成分占了全部VOCs量的90％以上。

③LED电子组件制造过程中VOCs的排放LED电子组件生产产生的VOCs污染物主要来源于基片处理和光刻，LED生产过程中产生VOCs的种类主要有三氯乙烯、丙二醇醚酯、异丙醇、丙酮、丁酮等。

④印制电路板(PCB)制造过程中VOCs的排放在单面、双面和多面印制电路板制作工艺中，产生的VOCs工艺环节相对较集中，主要来源于贴膜、烘干、江、印刷等工子，VOCs排放种类主要有甲醛、醇类(乙醇、异丙醇、丁醇、丙醇)、酮类(丁酮)、酯类剂的贮存过程中也会有部分乙酸乙VOCs产生和排放。

⑤电子终端产品制造过程中VOCs的排放在电子终端产品制造中，VOCs的主要来源包括电路板清洗剂有机废气(使用有机溶剂型清洗剂)、电路板三防喷漆废气、机売(机箱)喷漆废气、机壳注塑废气。这些废气均来自工位上的局部排风系统，特点是排风量大、浓度低。

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